对于洁净室的尘源,除了来自室外大气的尘粒和进入洁净室的人和物携带的灰尘之外,洁净室内的发尘源主要来自于洁净室内操作人员,洁净室的围护和洁净室内生产工艺设备和生产过程的产尘。
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